自動滑台應用範例

駿河精機的自動滑台因為型式完整且多元，適合設計在需求精度高、剛性高的設備、儀器、機構和單元之間。

• XYZθ半導體檢査機

以半導體晶圓的檢査設備為例。使用Z軸調整相機焦距，XYθ軸調整晶圓的位置。

•  影像對焦調整基材平行度

透過影像對焦使用2軸傾角滑台 可調整基板的平行度。

•  XYZ龍門型檢査機

用於中小型尺寸面板檢測，在長行程的檢測下仍可以保有精度與剛性。

•  XYθ雷射雕刻機

便用XYθ軸移動面板上大型樣品進行加工。滑台具高剛性，可進行高精度加工。

• XYZθ車載雷達的特性測定

自動XYZ滑台以及旋轉滑台的組合，可進行各樣的位置·角度的驗證。

•  XY序列分析儀

以生技DNA測序儀為例，使用XY軸移動板材上測試物料，同時用顯微鏡讀取反應。

•  雷射偏光旋轉元件

透過大口徑的自動滑台搭配升降台，可透過旋轉大波長的玻片，高精度地讓整偏光的方向。

• 光學延遲線機構

透過搭配光學尺，可做到絕對即時的定位回饋，提高實驗的信賴性。

•  XYθ面板輝度測定

自動XYθ調整機構搭配傾斜機構，可根據量測需求調整角度和 位置。

•  玻璃基板測定

高剛性的自動旋轉滑台搭配鏡架，可配合基板調整探測的角度。

•  顯微鏡用滑台

顯微鏡儀器中利用兩支X軸滑台組合的XY平台。可進行各樣的位置、角度的驗證。

•  鏡片校準設備

以各種尺寸的自動滑台組合，可夾持、微調並校準鏡片，能滿足多種動作需求。